真空高溫烤箱加熱之前抽真空是為了抽去工件原料中的氣體成分。如果沒有進行抽真空就進行加熱工件，氣體就會隨著溫度升高而脹大。因為烘箱的密封性非常的好，脹大的氣體所發生的無窮壓力會導致觀察窗鋼化玻璃爆裂，對潔凈烘箱和操作人員都會造成傷害，這是一個潛在的危險。所以要先將烘箱抽成真空在進行加熱，才能避免這種風險。

    假如真空高溫烤箱先升溫加熱，然后在進行抽真空的程序操作，就會導致潔凈烘箱的真空泵溫度過高，降低真空泵的功率，并且對產品的性能造成一定的損壞。因為，當真空泵抽出加熱的空氣的時候，烘箱內的一部分熱量會隨著被抽出的加熱空氣而帶到真空泵上去，此時就會導致真空泵溫度過高，從而對烘箱造成損壞。所以在烘箱之前一定要先抽真空，才能減少對真空烘箱的傷害。大家在使用烘箱之前先進行抽真空操作，只有這樣才能使真空壓力表的數據準確，并且超凈室產品本身也起到了保護的作用。

    真空烤箱的工作環境是在負壓下，氧的含量比較少，所以能夠減少，甚至是阻止出現氧化反應。負壓下的容積可以大幅度降低沸點，從而有效的避免了因為高溫干燥導致物料品質出現損壞。假如容積是一種有毒有害的物質，或者是價值非常大的氣體，那么使用高溫真空烘箱可以達到冷凝回收的效果，可以降低危險，也能夠提供回收利用率。